根据《苏州工业园区关于加快建设世界一流高科技产业园区的科创扶持办法》，结合园区纳米技术应用产业发展实际情况，特制定本办法。

第一条 本办法重点支持纳米新材料、微纳制造与传感器、纳米能源与清洁技术、纳米生物医药等领域。

第二条 支持纳米技术企业做大做强，经认定的纳米技术相关领域的产品和企业，自认定起三年内，给予以下支持：

1．经新认定的纳米技术产品，每个给予2万元奖励，每家企业每年奖励金额最高20万元，用于鼓励企业产品创新；

2．经认定的纳米技术企业，年销售首次超过1000万元，给予一次性奖励20万元；年销售首次超过5000万元，给予一次性奖励100万元；年销售首次超过1亿元，给予一次性奖励200万元。

第三条  重点支持氮化镓产业在园区集群式发展，经认定的氮化镓企业，自认定之日起给予以下支持：

1．凡使用园区内企业生产的氮化镓材料进行器件研发生产的园区内企业，经审核后按材料费用的40%给予专项补贴，每家企业每年最高100万元；

2．鼓励园区氮化镓企业使用园区内公共平台，经审核后给予40%的费用补贴，每家企业每年最高100万元。

第四条 重点支持园区微机电系统（简称MEMS）产品快速产业化，经认定的MEMS产品，自认定之日起，按以下标准给予支持：

1．给予园区公共平台MEMS新产品中试工艺开发一次性导入补贴，单个产品可按导入费的40%补贴，最高20万元，单个平台每年补贴金额最高100万元；

2. 对在园区公共平台上进行流片的MEMS产品，按40%给予补贴，每家企业每年补贴总额最高100万元。

第五条 重点支持园区氮化镓、MEMS、光电子等特色产业领域纳米技术企业使用园区内公共开放的高等级洁净房（等级为1000级、100级），经审核后，每家企业租金补贴最大不超过100元/月/平方，原则上不超过三年。

第六条 鼓励在纳米技术相关领域设立产业联盟、协会等社会组织，经评定后，择优给予最高50万元/年奖励，原则上不超过三年。

第七条 鼓励纳米技术在区内各相关行业中的应用，支持纳米技术领域新产品的推广，对经认定的首台（套）、共性技术、装备等产业化示范应用项目进行奖补。经评定，对入选的示范试点项目给予不超过项目总投入30%的补贴，最高100万元。

第八条 支持在园区成立纳米技术相关领域标委会分委会和标准化工作组，经认可，给予最高100万元的资金支持；鼓励园区纳米技术应用领域相关单位参与国际、国家和行业标准的制定，可分别给予100万元、50万元和20万元的奖励。

第九条  本办法自政策发布之日起执行，期限三年。如有本办法之外的其他同类优惠政策，按从高不重复享受的原则适用。政策兑现按规定需经专业机构审计，审计费用由科技专项资金承担。

第十条  本办法由园区科技和信息化局负责解释。由园区科技和信息化局负责制定本意见的操作细则，并负责政策施行。